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FIB(Focused Ion Beam,聚焦离子束)是将离子源(如镓)产生的离子束经过离子枪加速,并利用电透镜聚焦成非常小尺寸(纳米级)的显微切割仪器。可以实现微、纳米级尺度的表面形貌加工。通常会配置高分辨的扫描电镜(SEM),用于切割位置的定位及新鲜截面的成像,也就是常说的双束FIB。
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